納米壓印技術(shù)可提升LED發(fā)光效率20-30%
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納米壓印是指經(jīng)過像蓋章一樣把刻著精密圖畫的模具按壓到基板等的上面標準,很多轉(zhuǎn)印該圖畫的技能。近來領先水平,該技能的實(shí)用化案例越來越多。
用R2R辦法量產(chǎn)LED用模具
選用納米壓印技能的精密圖畫構(gòu)成技能有助于進(jìn)步LED和有機(jī)EL等的發(fā)光功率。東芝機(jī)械公司開發(fā)出了包含專用的壓印裝置在內(nèi)戰略布局,將LED的發(fā)光功率進(jìn)步20~30%的技能事關全面。運(yùn)用在藍(lán)寶石基板外表構(gòu)成高低圖畫的“PSS”(Patterned Sapphire Substrate,圖形化藍(lán)寶石襯底)狀態,進(jìn)步了反射率等技術節能,然后進(jìn)步了發(fā)光輸出。
機(jī)械納米加工體系業(yè)務(wù)部副業(yè)務(wù)部長后藤博史表明廣泛認同,存在的疑問是怎么削減模具的缺點(diǎn)數(shù)量國際要求,以及怎么使本錢比運(yùn)用現(xiàn)有步進(jìn)器構(gòu)成圖畫時更具優(yōu)勢″懺?!盎逵腥秉c(diǎn)的話競爭激烈,LED就不會發(fā)光。而為下降本錢重復(fù)運(yùn)用模具的話改善,缺點(diǎn)就會越來越多”空白區。
該公司針對這兩個疑問采納的對策是,把運(yùn)用R2R辦法很多復(fù)制的樹脂模具制成一次性產(chǎn)品信息化¢_放要求!鞍?英寸晶圓的本錢降到5美元以下的方針已有端倪”。樹脂模具還有一個長處優勢領先,那就是適合不一定平整的藍(lán)寶石基板迎來新的篇章。
完成高品質(zhì)GaN晶體
具體辦法是:首先在本來的GaN晶體上構(gòu)成SiO2薄膜,運(yùn)用納米壓印技能構(gòu)成幾十個nm寬的小口;然后再次生長GaN晶體推動並實現。這樣薄弱點,SiO2膜下方的GaN晶體的位錯就不會抵達(dá)上方的GaN晶體,由此能削減上方GaN晶體的位錯。早稻田大學(xué)的水野教授介紹說積極性,“咱們試制了LED奮勇向前,承認(rèn)該技能可進(jìn)步輸出功率并延伸壽數(shù)。大概也能用于功率半導(dǎo)體”實施體系。
水野表明組建,該技能還有望下降LED的驅(qū)動電壓⌒Ч^好!耙?yàn)槲诲e少重要的意義,曾經(jīng)有必要到達(dá)140μm厚度的GaN晶體可大幅減薄至21μm以下”。
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