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林賽斯薄膜激光導熱測量儀TF-LFA概述
材料的熱物理性質以及最終產品的傳熱優(yōu)化在工業(yè)應用領域變得越來越重要技術。
經過幾十年的發(fā)展，閃射法已經成為樶常用的用于各種固體逐步改善、粉末和液體熱導率拓展基地、熱擴散系數(shù)的測量方法集中展示。
薄膜熱物性在工業(yè)產品中正變得越來越重要，如：相變光盤介質體系流動性、熱電材料探索創新、發(fā)光二極管(LED ) ，相變存儲器實現了超越、平板顯示器以及各種半導體新產品。在這些工業(yè)領域中，特定功能沉積膜生長在基底上以實現(xiàn)器件的特殊功能相對開放。由于薄膜的物理性質與塊體材料不同，在許多應用中需要專門測定薄膜的參數(shù)脫穎而出。
基于已實現(xiàn)的激光閃射技術拓展應用，LINSEIS TF-LFA 薄膜導熱測試儀(Laserflash for thin films)可以測量80nm——20μm厚度薄膜的熱物理性質。
1.瞬態(tài)熱反射法(后加熱前檢測(RF)):
由于薄膜材料的物理性質與基體材料顯著不同結構，必需要有相應的技術來克服傳統(tǒng)激光閃射法的不足管理，即瞬態(tài)熱閃射法。
測量模型與傳統(tǒng)激光閃射法相同：檢測器和激光器在樣品兩側雙重提升鹇圆季?？紤]到紅外探測器測試薄膜太慢，因此檢測是通過熱反射方法完成的表現明顯更佳。該技術的原理是材料在加熱時狀態，表面反射率的變化可最終用于推導出熱性能。測量反射率隨時間的變化指導，得到的數(shù)據(jù)代入包含的系數(shù)模型里面并快速計算出熱性能廣泛認同。
2. 時域熱反射法(前加熱前檢測(FF)):
時域熱反射技術是另一種測試薄層或薄膜熱性能(熱導率，熱擴散率)的方法流動性。測量方式的幾何構造被稱為“前加熱前檢測(FF)"鍛造，因為檢測器和激光在樣品上的同一側。該方法可以應用于非透明基板上不適合使用RF技術的薄膜層持續創新。
3. 瞬態(tài)熱反射法(RF)和時域熱反射法(FF)相結合:
兩種方法可以集成在一個系統(tǒng)中并實現(xiàn)兩者優(yōu)點的結合改善。
