產(chǎn)品列表PRODUCTS LIST
日本日立熱場發(fā)射掃描電鏡SU7000概述
此次推出的SU7000采用全新設(shè)計(jì)的探測器積極拓展新的領域，使得對二次電子信號更多的合作機會、背散射電子信號的檢測以及分離能力大大提升紮實。以前我們要根據(jù)不同的觀察信號來調(diào)整樣品與透鏡之間的距離(工作距離/以下簡稱WD)狀況，以獲得最佳的觀察與分析條件即將展開，而SU7000通過新研發(fā)的樣品倉以及檢測器系統(tǒng)，可在同樣的WD的條件下更高效地接收各種信號，縮短了樣品觀察和分析的時(shí)間是目前主流，提高了測試效率×鲃有?！《义懺?，SU7000還配置了可同時(shí)6通道顯示界面(前代機(jī)型只能同時(shí)顯示4通道)競爭激烈，進(jìn)一步升級電鏡控制系統(tǒng)持續創新，大幅提高了信號獲取速度，由此實(shí)現(xiàn)了樣品的高效率觀察空白區。它還標(biāo)配超大樣品倉協調機製，增設(shè)了附件接口，可適用于各種樣?品的觀察與分析形勢。主要特點(diǎn)：在相同的WD條件下實踐者，可同時(shí)實(shí)現(xiàn)二次電子，背散射電子觀察與X射線能譜分析約定管轄祿?？赏瑫r(shí)實(shí)現(xiàn)6通道檢測與顯示;成像分辨率最大可達(dá)10240×7680像素;配置18個(gè)附件接口，支持低至300Pa的低真空模式觀察;(選配)
日本日立熱場發(fā)射掃描電鏡SU7000特點(diǎn)
★ 采用優(yōu)異的成像技術(shù)
SU7000可以迅速獲取從大視野全貌圖到表面微細(xì)結(jié)構(gòu)等多種檢測信號發揮。全新設(shè)計(jì)的電子光學(xué)系統(tǒng)和檢測系統(tǒng)顯著，使得裝置可以同時(shí)接收二次電子和背散射電子等信號，用戶可以在短時(shí)間內(nèi)獲得更全面的樣品信息開放以來。
★ 采用多通道成像技術(shù)
隨著用戶對成像需求的不斷增長占，SU7000特新增了幾種探測器，還引進(jìn)了相應(yīng)的成像功能提供了有力支撐。SU7000最多可同時(shí)顯示和保存6通道信號激發創作。實(shí)現(xiàn)了獲得樣品信息的樶大化。
★ 支持不同形狀樣品進一步意見、多種觀察方法
?大型樣品觀察
?低真空觀察
?超低溫觀察
?實(shí)時(shí)觀察
等所需的樣品倉和真空系統(tǒng)都十分完備增幅最大，觀察方法也是一ying俱全。
★ 支持微納解析
采用肖特基發(fā)射電子槍生產能力，最大束流可達(dá)到200 nA研究成果，適用于各種微納解析。樣品倉形狀和接口設(shè)置支持EDX分析完善好、EBSD大面積、陰極熒光分析等，接口設(shè)備可通過選配附件滿足各種特殊需求問題分析。
成像能力
追求信息樶大化的檢測系統(tǒng)
隨著用戶對樣品數(shù)據(jù)的需求更加多元化培養，對檢測系統(tǒng)在短時(shí)間內(nèi)捕捉更多的信息提出了更高的要求。SU7000的檢測系統(tǒng)可以在不改變WD等條件的前提下導向作用，更高效地獲取形貌方案、成分應用的選擇、晶體學(xué)以及發(fā)光等信息。真正實(shí)現(xiàn)了更快速左右、更全面的信息收集背景下。
同一條件觀察
樣品：包裹有機(jī)物的金屬棒
樣品提供：Vassar College, Chemistry Dept.
Mr. Smart and Ms. Pineda
通過UD、MD可靠保障、LD探測器同時(shí)采集信號的應(yīng)用實(shí)例 (加速電壓：1 kV)
通過UD自然條件、MD、LD探測器可以同時(shí)采集信號開展，UD可獲取表面微細(xì)形狀信息互動互補，MD可獲取表面有機(jī)物包覆狀態(tài)信息，LD可獲取整體凹凸形貌信息意向。在同一個(gè)條件下意料之外，實(shí)現(xiàn)了獲取信息的樶大化。
采用可多通道顯示的GUI設(shè)計(jì)
優(yōu)化信號顯示功能
成像單元在信號顯示上也作了全新升級形式。
用戶可根據(jù)觀察需求置之不顧，選擇不同的視場角和通道數(shù)。
單屏最多可同時(shí)顯示4通道信號數字化。
導(dǎo)航功能(SEM MAP)可以輕松捕捉到顯示樣品倉內(nèi)信息的CCD相機(jī)圖像和相機(jī)拍攝到的樣品圖像方便，快速顯示目標(biāo)圖像。
使用雙屏顯示時(shí)改革創新，可在一個(gè)顯示屏上雙通道顯示1,280×960像素的圖像知識和技能，另一個(gè)顯示屏專門用來顯示信號，最多可同時(shí)顯示6通道信號新模式。
高自由度的界面布局
使用單屏?xí)r實現，可以單通道、雙通道組織了、四通道顯示樣品信息服務體系，也可以顯示CCD相機(jī)圖像、樣品臺圖像/SEM MAP圖像等搶抓機遇。而且操作畫面上的工具欄可以任意移動(dòng)分析、添加和刪除。
支持雙屏顯示
1st顯示屏專門用來顯示圖像全面闡釋，2nd顯示屏用來顯示操作面板畫面非常激烈。上圖左圖(1st顯示屏)是通過SU7000觀察到的鋼鐵中非金屬夾雜物的圖片。圖中清晰呈現(xiàn)出UD貢獻法治、LD設備製造、UVD、MD、PD-BSED5個(gè)探測器捕捉到的圖像以及SEM MAP圖管理。右圖(2nd顯示屏)將操作面板菜單和圖像歷史記錄窗口在同一個(gè)畫面中顯示顯示，界面布局清晰明了。在實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)監(jiān)控圖像的同時(shí)效率和安，操作性能也得到了進(jìn)一步提升設計能力。
可擴(kuò)展觀察和分析方法
樣品倉和馬達(dá)臺
樣品倉外觀
標(biāo)配18個(gè)附件接口
馬達(dá)臺外觀
XY軸可移動(dòng)距離為135×100 mm
樣品倉可搭載最大直徑為φ 200 mm;最高80 mm的樣品。大開倉設(shè)計(jì)深入開展，標(biāo)配18個(gè)附件接口更為一致。樣品臺可搭載XY軸最大移動(dòng)距離為135×100 mm，最重2 kg的樣品空間廣闊。搭載大型樣品和功能樣品臺*不成問題至關重要。
相機(jī)導(dǎo)航功能(*)
通過相機(jī)拍攝樣品 將相機(jī)拍攝到的圖像顯示到SEM MAP畫面上進(jìn)行導(dǎo)航
SU7000可選配導(dǎo)航相機(jī)(*)提供深度撮合服務，迅速鎖定要觀察的位置服務品質。相機(jī)安裝在樣品倉內(nèi)，插入樣品后組成部分，可半自動(dòng)拍攝樣品的整體圖像影響。該圖像會(huì)被顯示到導(dǎo)航畫面(SEM MAP)窗口，因此的過程中，用戶可以觀察窗口中的圖像判斷位置發展契機。最大適用尺寸為φ 100 mm。
(*)
可選配相機(jī)促進進步。
支持動(dòng)態(tài)觀察的檢測系統(tǒng)
SU7000可用于環(huán)境改變的動(dòng)態(tài)觀察發力。低真空觀察時(shí)，可以選用PD-BSED(背散射電子探測器)迎來新的篇章、UVD共創美好、MD等各種探測器(**)。
低真空環(huán)境的探測器選擇
左圖為通過MD(背散射電子)薄弱點，右圖為通過UVD(二次電子)探測器觀察到的金屬氧化物纖維的情況覆蓋範圍。兩張圖分別清晰地呈現(xiàn)出氧化物的分散狀態(tài)和纖維的堆積情況。
PD-BSED：響應(yīng)速度提高左圖是以一般的響應(yīng)速度積極性，約每兩秒掃描一次得到的圖像;右圖抑制了圖像的漂移奮勇向前，使得整體的畫質(zhì)得到了大幅提升。隨著響應(yīng)速度的提高多元化服務體系，更適用于In-Situ觀察規劃。
(**)
可選配PD-BSED、UVD深度。
