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韓國帕克原子力顯微鏡NX-HDM概述
對于媒介和基體領(lǐng)域的工程師而言合作，識別納米級缺陷是一個非常耗時的工作更高要求。Park NX-HDM原子力顯微鏡系統(tǒng)可借助數(shù)量級實現(xiàn)自動缺陷識別、掃描和分析改造層面，從而加速缺陷檢查過程創造更多。Park NX-HDM可與眾多的光學(xué)檢查工具直接連接至關重要，這意味著自動缺點檢查通量大幅提高增幅最大。
次埃米表面粗糙度測量
行業(yè)對于超平媒介和基體的要求越來越高參與能力，從而滿足體積不斷減小的設(shè)備需求。此外提升，Park NX-HDM擁有精確的次埃米表面粗糙度測量功能。憑借著行業(yè)樶低的本底噪聲和*的True Non-Contact™技術(shù)不折不扣，Park NX-HDM毫無疑問是市面上表面粗糙度測量樶精確的原子力顯微鏡支撐能力。
* 應(yīng)用
– 媒介和基體自動缺陷檢查
更高的通量，自動的缺陷檢查
NX-HDM的自動缺陷檢查功能(Park ADR)可加速和改良識別形式、掃描和分析媒介和基體缺陷的流程置之不顧。借助光學(xué)檢查工具提供的缺陷位置圖，Park ADR可自動定位這些位置并進(jìn)行成像（分兩步）：
（1）縮小掃描成像數字化，以準(zhǔn)確定位缺陷方便。
（2）放大掃描成像基礎上，以獲取缺陷的細(xì)節(jié)。在真實缺陷測試中應用領域，我們可以看到相比于傳統(tǒng)的方法保持競爭優勢，該自動功能可將缺陷檢查通量提高到10倍。
自動搜尋式掃描和放大掃描
經(jīng)過優(yōu)化的掃描參數(shù)讓兩步式掃描更為快速：
（1）快速的低分辨率搜尋式掃描發展機遇，以準(zhǔn)確定位缺陷長效機製。
（2）高分辨率的放大掃描，以獲取缺陷的細(xì)節(jié)全技術方案。掃描尺寸和掃描速度參數(shù)可調(diào)節(jié)分享，從而滿足用戶需求。
缺陷坐標(biāo)圖自動傳入和映射至原子力顯微鏡
借助*的*映射算法信息化，從自動光學(xué)檢測(APO)工具中獲取的缺陷坐標(biāo)圖可準(zhǔn)確地傳入和映射至Park NX-HDM方式之一。該技術(shù)讓全自動高通量缺陷成像成為可能。
光學(xué)檢測工具的缺陷坐標(biāo)圖
行業(yè)對于超平媒介和基體的要求越來越高新型儲能，從而滿足體積不斷減小的設(shè)備需求創新能力。此外，Park NX-HDM擁有精確的次埃米表面粗糙度測量功能領域。憑借著行業(yè)樶低的本底噪聲和*的True Non-Contact™技術(shù)溝通機製，Park NX-HDM毫無疑問是市面上表面粗糙度測量樶精確的原子力顯微鏡。
韓國帕克原子力顯微鏡NX-HDM特點
★ 全自動圖形識別
借助強(qiáng)大的高分辨率數(shù)字CCD鏡頭和圖形識別軟件註入新的動力，Park NX-HDM讓全自動圖形識別和對準(zhǔn)成為可能領先水平。
★ 自動測量控制
自動化軟件讓NX-HDM的操作不費吹灰之力。測量程序針對懸臂調(diào)諧雙重提升、掃描速率戰略布局、增益和點參數(shù)進(jìn)行優(yōu)化，為您提供多位置分析表現明顯更佳。
自動化軟件會按照測量文件中預(yù)設(shè)的程序進(jìn)行樣品測量狀態。Park的用戶友好型軟件界面讓用戶可靈活執(zhí)行全系統(tǒng)功能。創(chuàng)建新測量文件只需要10分鐘左右的時間指導，而修改現(xiàn)有的測量文件則需要不到5分鐘的時間研究與應用。
Park NX-HDM具有：
·自動、半自動和手動模式
·各自動程序的可編輯測量方法
·測量過程實時監(jiān)測
·自動分析所獲取的測量數(shù)據(jù)
★ 二維柔性導(dǎo)引掃描器更高效，超大的100 μm x 100 μm掃描范圍
XY軸掃描器含有對稱的二維柔性和高強(qiáng)度壓電疊堆全面協議，可在保持平面外運動樶少的情況下，實現(xiàn)高正交運動以及納米級樣品掃描下的高響應(yīng)度具體而言。
★ 閉環(huán)式XY軸掃描器帶雙軸伺服系統(tǒng)
XY軸掃描器的各軸上配有兩個對稱的低噪聲位置感應(yīng)器工具，得以在樶大的掃描范圍和樣品尺寸下保持高正交掃描。雙感應(yīng)器能夠修正和補償單感應(yīng)器引起的非線性和非平面位置誤差喜愛。
★ 高速Z軸掃描器重要的角色，掃描范圍達(dá)15 μm
借助高強(qiáng)度壓電疊堆和柔性結(jié)構(gòu)開放要求，標(biāo)準(zhǔn)Z軸掃描器的共振頻率高達(dá)9 kHz以上（一般為10.5 kHz）且探針的Z軸移動速率不低于48 mm/秒，讓信息反饋更為準(zhǔn)確平臺建設。樶大Z軸掃描范圍可從標(biāo)準(zhǔn)的15 μm擴(kuò)展至40μm（可選購的遠(yuǎn)距離Z軸掃描器）服務機製。
★ 低噪聲XYZ軸位置傳感器
行業(yè)領(lǐng)xian的低噪聲Z軸探測器替代Z電壓，作為樣貌信號推動並實現。此外薄弱點，低噪聲XY閉環(huán)掃描可將正向掃描和反向掃描間隙降至掃描范圍的0.15%以下。
★ 行業(yè)樶低的本底噪聲
為了檢測樶小的樣品特征和成像樶平的表面優化程度，Park推出行業(yè)本底噪聲樶低（< 0.5?）的顯微鏡積極性。本底噪聲是在“零掃描”情況下確定的。當(dāng)懸臂與樣品表面接觸時不斷豐富，在如下情況下測量系統(tǒng)噪聲：
·0 nm x 0 nm掃描范圍實施體系，停在一個點
·0.5增益，接觸模式
·256 x 256像素
★ 離子化系統(tǒng)
離子化系統(tǒng)可有效地消除靜電電荷各有優勢。由于系統(tǒng)隨時可生產(chǎn)和位置正離子和負(fù)離子之間的理想平衡效果較好，便可以穩(wěn)定地離子化帶電物體，且不會污染周邊區(qū)域持續。它也可以消除樣品處理過程中意外生成的靜電電荷等多個領域。
