產(chǎn)品列表PRODUCTS LIST
日本小坂KOSAKA 臺(tái)階儀 | 微細(xì)形狀測定機(jī)ET200A產(chǎn)品詳細(xì)信息
日本小坂KOSAKA 臺(tái)階儀 | 微細(xì)形狀測定機(jī)ET200A概述
ET200A基于Windows 操作系統(tǒng)為多種不同表面提供全面的形貌分析橋梁作用，包括半 導(dǎo)體硅片、太陽能硅片左右、薄膜磁頭及磁盤資料、MEMS、光電子合規意識、精加工表面、生物醫(yī)學(xué)器件、 薄膜/化學(xué)涂層凝聚力量、平板顯示、觸摸屏等聽得進。使用金剛石（鉆石）探針接觸測量的方式來實(shí)現(xiàn)高 精度表面形貌分析應(yīng)用新的力量。ET200A 能可靠地測量出表面臺(tái)階形貌、粗糙度便利性、波紋度全面展示、磨 損度、薄膜應(yīng)力等多種表面形貌技術(shù)參數(shù)深刻認識。 ET200A 配備了各種型號(hào)探針核心技術，提供了通過過程控制接觸力和垂直范圍的探頭應用提升，彩色CCD 原位采集設(shè)計(jì)，可直接觀察到探針工作時(shí)的狀態(tài)創造性，更方便準(zhǔn)確的定位測試區(qū)域發展的關鍵。
日本小坂KOSAKA 臺(tái)階儀 | 微細(xì)形狀測定機(jī)ET200A特點(diǎn)
★ ET200A臺(tái)階儀適用于二次元表面納米等級(jí)段差臺(tái)階測定、粗糙度測定規模設備。
★ ET200A臺(tái)階儀擁有高精度．高分解能真諦所在，搭配一體花崗巖結(jié)構(gòu)，安定的測量過程及微小的測定力可對應(yīng)軟質(zhì)樣品表面競爭力。
★ 該型號(hào)臺(tái)階儀采用直動(dòng)式檢出器充分，重現(xiàn)性高。
日本小坂KOSAKA 臺(tái)階儀 | 微細(xì)形狀測定機(jī)ET200A產(chǎn)品參數(shù)
| 大試片尺寸 | Φ200mm×高度50mm |
| 重現(xiàn)性 | 1σ ≤ 1nm |
| 測定范圍 | Z:600um X:100mm |
| 分解能 | Z:0.1nm X:0.1um |
| 測定力 | 10UN~500UN (1mg-50mg) |
| 載物臺(tái) | Φ160mm, 手動(dòng)360度旋轉(zhuǎn) |
